露点范围到 -30~50℃  

湿气流量范围：0-5L/min

控制湿度范围 0~95%可调               

湿度精度+/-1.5%          

温度范围：-20~80℃                       

温度精度+/-0.1℃     

自带管路伴热功能

湿度平稳连续，流量/温度 精确可控，进样完全、无残留

本公司露点湿度发生器利用高精度恒流泵定量供给液体水，通过控制液态水相变，气态水蒸气与干路载气混合形成恒定浓度的湿气,再通过恒定温度控制形成不同温度下的相对或绝对湿气。

储罐中的去离子水，通过精密恒流泵加入精密蒸发器中，去离子水的流量连续可调，精密蒸发器将液态水100%蒸发，并且保证蒸汽流量波动小于2%，通过载气泵向设备主体内吸入空气到汽化器内将汽化后的原液与空气混合

• 自主研发的可蒸发相变技术

此技术提供成分浓度稳定（波动小于±1%）且可连续调控的所需气体。特殊气化结构，大幅抑制汽化不均匀而导致的脉动。

• 自主研发气化模块
  

此模块小巧，完全避免了传统加热炉汽化电转化效率低、不稳定、不完全汽化等问题。

• 自主研发无死体积进样技术

由于系统中传输通道的存在，现有测试中均存在“死体积”现象，有一部分残留在传输通道中，导致发生总量出现偏差。

“死体积”是目前测试行业中未得到很好解决的一个难题。本公司自研无死体积进样技术，在不影响传输通道设计的前提下，通过辅助进样实现全部流体进样完全、无残留。

• 快速响应，操作简单

• 微通道液膜结构

• 湿度平稳连续，波动小且精确度高

• A级温湿度传感器，可选配国产和进口

• 内部器件材质SUS304/316L，耐高温耐腐蚀

• 进样完全湿，无残留

• 湿气出口采用加热保温装置，不冷凝，出气稳定

• PID智能控温，运行状态直观显示

• 进液流量、温度等参数可设置，流量/温度精确可控

• 可支持实时在线数据的读取与保存

• 可集联与远程 

• 寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换

• 可按需求定制

• 一体压铸微通道汽化器  

微通道结构换热效果更快,死体积小，能快速补充相变所     需热量，液体进入通道能快速形成纳米液膜，汽化波动小。 

• 质量流量计控制流量 （按需选配） 

流量控制精度达到1.5%，较传统的转子流量计精度(+/-5%以上)高出很多，确保混合

气体输出浓度波动小，精度高。

• PLC人机交互界面

PLC人机交互界面有参数设置区、实时曲线区、实时数据显示区，在高级参数设置中，气体流量、汽化温度、预热温度进行设置，同时可以观察温湿度的实时输出变化。

• 精密恒流泵

精密恒流泵精度达±1%，压力可达到0.3Mpa,确保水蒸气输出浓度波动小、精度高；各种连接方式，易于安装与使用；

输出方式灵活，既可以通过通迅接口主动上传数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压；

可记录自上电以来瞬时流量的最大值和最小值，具有超量功能；

全量程高稳定性，高精度和优良的重复性。

• A级温湿度传感器(可选配国产or进口）

中科院长春光机所

国科大

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清华大学

蓝盾光电 

上海大学

华南理工大学